EUV光刻机意想不到的用处：生物医学

固然纳米孔在基因组学和蛋白质组学中具有巨大年夜潜力，但过往受限于制造变异性大年夜和集成艰苦，始终无法实现大年夜范围临盆。

这项进展被ASML公关负责人誉为“意想不到且出色的生物医学应用”。

所谓纳米孔，是直径仅有几纳米的渺小孔洞，其精细程度约为人类头发丝的万分之一，在生物传感范畴，纳米孔的感化如同“分子检查站”。

当离子电流流过孔洞时，经由过程个中的分子（如病毒、蛋白质或 DNA）会对电流产生独特的旌旗灯号，科学家可以根据这些独特的电旌旗灯号，高灵敏度地辨别分子的尺寸、构造和电荷。

imec的冲破在于应用EUV技巧确保了孔径的高度一致性，今朝孔径已精确缩小至约10纳米，将来更有望经由过程工艺改进冲破5纳米。

更重要的是，这种办法与CMOS兼容，意味着生物传感器可以像临盆芯片一样在300毫米晶圆上大年夜范围制造。

imec研发项目经理Ashesh Ray Chaudhuri表示，将本来用于芯片制造的EUV基本举措措施应用于生命科学，已经为高通量生物传感器阵列打开了大年夜门。