EUV光刻机意想不到的用途:生物医学

EUV光刻机意想不到的用处:生物医学

长期以来,EUV光刻技术一直被主要用于打造最强大的逻辑与存储芯片。不过比利时微电子研究中心(IMEC)近日首次成功利用ASML的EUV光刻设备,在300毫米晶圆上实现了固态纳米孔的晶圆级制造。